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定制化原子層沉積系統
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產品描述
參數
OLED制備技術的研究是集多領域、多學科的綜合性學術研究，它涵蓋了半導體、化學、薄膜電子、真空物理、光學等。OLED廣闊的發展前景也激活了國內各高校、研究所的科研工作者的熱情。嘉興科民電子針對OLED研究領域新開發了OLED系列等離子增強原子層沉積系統，為廣大OLED領域的研究者提供了一整套的實驗操作平臺和解決方案。
該系統集成了紅外同步原位監測儀和質譜儀，可以對薄膜生長過程中的環境氣氛、金屬源及非金屬源的狀態以及產物進行原位實時監測。使研究人員可以直觀的把握薄膜的生長質量，減小實驗操作的誤差，縮短整個實驗的時間長度。
為了保證整個實驗過程中的薄膜質量，保證薄膜不受環境中水氧的腐蝕。該系統設計中將等離子增強原子層沉積系統的腔室與手套箱直接聯通，保證實驗全過程全部處于無水無氧的干燥條件下進行，保持OLED器件處于最佳的性能狀態。
同時該系統可以靈活的集成其他OLED制備儀器，如：蒸發臺、勻膠機等實驗設備。確保在實驗過程中，將樣品的轉移和存放過程中周圍環境的影響減到最小。
嘉興科民電子在開發OLED系列PEALD設備的同時，也同步研究OLED的封裝技術。目前水氧阻隔的封裝薄膜技術已經具有初步成果，期待與您分享OLED制造工藝中的每一次發現和進步。
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粉末型（P-ALD）
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